材料分析原理与技术重点(23)

材料分析原理与技术

增多，对应像区越亮。

（2）应用：

1背散射电子：用来进行成分分析和形貌分析。 ○

2二次电子：用于观察断口形貌，也可用样品表面形貌观察。 ○

32.试述电子探针的工作原理。

答：原理：用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线，分析特征X射线的波长或特征能量即可知道样品中所含元素的种类，分析X射线的强度，则可以知道样品中对应元素含量的多少。

33.波谱仪和能谱仪各有什么优缺点？

答：（1）能谱仪:○1 能谱仪分辨率比波谱仪低，能谱仪给出的波峰比 较宽，容易重叠。在一般情况下，Si( Li )检测器的能量分辨率约为 160eV，而波谱仪的能量分辨率可达5 -1 0 e V。

2能谱仪中因 Si(Li)检测器的铍窗口限制了超轻元 ○

素 X 射线的测量，因此它只能分析原子系数大于 11 的元素，而波谱仪可测定原子序数 4-92之间所有的元素。

3能谱仪的 Si(Li)探头必须保持在低温状态， ○因此必

须时时用液氮冷却。

1波谱仪由于通过分光体衍射，探测 X 射线效率低， （2）波谱仪:○

因而灵敏度低。

2波谱仪只能逐个测量每种元素的特征波长。 ○

3波谱仪结构复杂。 ○

4波谱仪对样品表面要求较高 ○

34.举例说明电子探针的三种工作方式（点、线、面）在显微成分分析中的应用。