材料分析原理与技术
答:(1)背散射电子:能量高;来自样品表面几百nm深度范围;其产额随原子序数增大而增多.用作形貌分析、成分分析。
(2)二次电子:能量较低;来自表层5-10nm深度范围;对样品表面状态十分敏感.主要用于分析样品表面形貌。
(3)吸收电子:其衬度和背散射电子和二次电子像的衬度互补。可用来进行定性的微区成分分析.
(4)透射电子:透射电子信号由微区的厚度、成分和晶体结构决定.可进行微区成分分析.
(5)特征X射线: 用特征值进行成分分析,来自样品较深的区域
(6)俄歇电子: 各元素的俄歇电子能量值低;来自样品表面1-2nm范围。适合做表面分析.
30.扫描电镜的分辨率受哪些因素的影响?用不同物理信号成像时,其分辨率有何不同?所谓扫描电镜的分辨率是指何种信号成像的分辨率?
答:(1)影响因素:电子束束斑大小,检测信号类型,检测部位原子序数,观察记录系统的精度。
(2)俄歇电子和二次电子信号的分辨率最高,背散射电子其次,吸收电子和特征X射线的最低.
(3)扫描电镜的分辨率是指用俄歇电子和二次电子信号成像时的分辨率.
31.说明背散射电子像的原子序数衬度原理和二次电子像的表面形貌衬度原理,并举例说明在分析样品中元素分布的应用。
答:(1)背散射电子像的原子序数衬度原理:在进行分析时,样品上原子序数较高的区域中由于收集到背散射电子数量较多,故荧光屏上的图像较亮。背散射电子像中不同区域衬度的差别,实际上反映了样品不同区域平均原子序数的差别,据此可定性分析样品的化学成分分布。
二次电子像的表面形貌衬度原理:二次电子对微区表面的几何形状十分敏感。随入射束与试样表面法线夹角增大,电子束穿入样品激发二次电子的有效深度增加,使该微区溢出的表面二次电子数量

