5.5.1防静电接地分系统
EPA的防静电接地分系统包括人体防静电接地、地坪防静电接地和操作装置、仪器的防静电接地等。除个别指明需采用硬接地者外,一般采用软接地方式,其接地电阻可由外接电阻、材料内固有电阻或它们的组合构成。各种防静电接地的接地电阻要求见5.6条。
5.5.2 接地安装注意事项
5.5.2.1 防静电接地分系统可利用故障保护地线或信号参考地线(直流工作地线)作为接地母线。
5.5.2.2 不允许交流线路的走线与直线地线紧贴或平行铺设,以防以直流信号造成干扰。
5.5.2.3 各接地分系统的连线之间应当相互隔离,为此应使用带绝缘外皮的导线。
5.5.2.4 各接地干线之间的连接应采用钎焊、熔焊或压力连接件、卡箍等进行搭接连接。
5.5.2.5 防静电工具、装置等接地端子允许使用易于装拆的各种夹式连接器,例如鳄鱼夹、插头座等,但应确保电气连接可靠。
5.5.2.6 防静电工作台和装置、设备等的故障保护地线应采用最小截机积不小于1.25mm2的多股敷塑导线,外皮颜色为黄绿色。
5.6 各种器材、用具的静电性能
5.6.1 ESD防护工作台面
除非制造工艺要求需要使用导(静)电工作台面,EPA内的ESD防扩工作台面应使用静电耗散材料制成并接地良好。推荐工作台面尺寸为1200mm×600mm。ESD防护工作台面的对地电阻和表面(点对点)电阻要求见表1。对地电阻测量原理按SJ/T10694的图7,测量电表的一端接到腕带接地插孔上,另一个电极距此0.9m,测量5个点(测量电极以0.9m为半径的绕接地插孔旋转移动),取其平均值。表面(点对点)电阻测量原理按SJ/T106409的图6a,二测试电极相距0.9m,共测量5组数据取平均值。测量时一个电极以0.9m的半径绕固定的电极旋转移动。
表1 EPA 内各种器材的静电性能要求
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