防静电工作区技术要求GJB30(4)

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5．4．5 洁净度（必要时）

需使用洁净环境的EPA加工场所，厂房空气洁净级别按有关工艺设计文件规定。

5．5接地

EPA 应具备满足其使用功能要求的防静电接地分系统，并通过大地电极分系统接到大地。此外，EPA通常还需设置若干其他接地分系统，例如雷电保护、故障保护、信号、参考等分系统。这些接地分系统的作用、配置、安装方法接地电阻要求及测量方法等，参见GJB/Z25第5~9章。