晴过雨天（2）高压薄膜泵
高压薄膜泵隶属于微型泵系列产品，主要是用来精密控制吸排油（水）量的大小。它主要特点是体积小、功率大。由英国San Technology公司的Dariusz.A.Bushko和James.H.Goldie用Terfenol-D棒制成的微型高压薄膜泵如图8所示。其在结合水力和电控装置下，可实现强力、大行程的水力驱动，体积小且容易控制。它的工作原理主要是通过线圈驱动GMM棒发生伸缩推动隔膜运动从而实现吸排[15]。国外在微型泵的应用研究早已经转入了GMM型微型泵领域，技术远远领先国内，而我国对微型泵的研究现阶段还只是停留在PZT型的微型泵研究开发上。
1.调节栓 2.外套 3.骨架 4.线圈 5.超磁致伸缩棒 6.推杆 7.端盖 8.滚珠a 9.支点 10.杠杆 11.阀芯 12.滚珠b 13.进液口 14.出液口 15.钢珠 16.弹簧 17.阀体 图9 电液高速开关阀 Fig.9 Electro-hydraulic of high-speed
