1 概述
1-1. 产品组件
1-2. 使用目的
这是一个固定型的气体检测器头,用于检测半导体工厂等的气体泄漏。
此气体检测器是一个安全装臵,而非对气体的定量/定性进行分析和测量的分析仪或浓度计。在使用前,你必须了解检测器的特点,以便正确使用该产品。
该检测器利用内臵的气体传感器检测因气体或其他原因(泄漏或缺氧)造成的空气中的异常。被测气体的浓度显示在数字LCD上。
检测器的内臵泵会抽取气体进行气体测量。
检测器有气体警报接点和故障警报接点。
检测器以4-20 mA或数字形式输出气体浓度。 GD-70D 模拟传输(4-20 mA规格) GD-70D-NT 2-线型直流电源线通讯(NT规格) 6
1-3.产品规格
<通用规格>
浓度显示 抽取流量 电源显示 显示 气体警报显示 气体警报激活 气体警报接点 故障警报/自诊断 故障警报显示 故障警报激活 故障警报接点 接点容量 推荐接点电缆 功能 导管连接孔 初始清零 结构 外部尺寸 重量 外观颜色 <各型号规格>
数字型LCD(数字和条状显示) 0.5L/min ±10% 电源灯点亮(绿色) 气体名称显示/流量显示/模式显示/通讯状态显示/热分解器连接显示 一级警报: ALM1 灯点亮(红色)/二级警报: ALM2灯点亮(红色) 非锁定(自动复归) 无源接点1a或1b(独立) 不通电(警报时通电)或通电(警报时断电) 系统异常/传感器异常/流量异常/通讯异常/热分解器异常 故障灯点亮(黄色)/故障内容显示 非锁定(自动复归) 无源接点1a或1b 不通电(警报时通电)或通电(警报时断电) 125 VAC-0.25A/24VDC-0.5A(电阻性负载) CVV等电缆(1.25sq)–最多6芯 白色背景光/警报显示/零抑制/零跟随/灵敏度校正/ 流量控制/校准记录/警报趋势记录/事件记录 Rc1/4(O.D Φ6-1t半连接,用于随附的特氟龙管
<每个原理的规格>
检测原理 被测气体 检测范围 检测系统 警报选点 ESU 电化学型 有毒气体 *3 根据被测气体而定 泵吸式 根据被测气体而定 ESU+PLU *1 电化学型 NF3 0-30ppm SSU+PLU *1 热分解颗粒型 TEOS 0-15ppm SGU 半导体型 可燃气体 有毒气体 根据被测气体而定 泵吸式 根据被测气体而定 OSU *2 原电池型 氧气 0-25vol% 泵吸式/高温分解型 10ppm 10ppm (一级警报) (一级警报) 20ppm 10ppm (二级警报) (二级警报) 18vol%(一级警报) 18vol%(二级警报) ±1 vol%之内 <读数精确度> ±0.7 vol%之内 警报精确度 ±30%之内*4 可燃气体: ±25%之内 有毒气体: ±30%之内*4 警报显示时间 60秒或更少*5 两级警报(H-HH) 大约1.5 W (最大4 W) 可燃气: 30秒或更少 有毒气体: 60秒5秒或更少*6 或更少*5 两级警报 (L-LL,L-H) 大约2.5 W (最大约1.5 W (最大大5 W) 4 W) 30-80%RH 低于95%RH 警报类型 电源消耗 操作温度 0-40°C (持续状态) 操作湿度 (无结露) 30-70%RH *1 热分解器组件规格。有关热分解器(PLU-70)规格详情,清参阅单独的操作手册. *2 缺氧规格。有关其他规格信息(氧气泄漏规格), 请联系我们。 *3 操作温度/湿度将根据被测气体而不同。 *4 至警报点。
*5 通过提供1.6倍于警报点的气体(不包括导管和通讯中的延迟)
*6 通过让检测器检测10-11vol%的气体(不包括导管和通讯中的延迟),30秒内得到90%的反应。
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1-4.每个部件的名称和功能
<外观>
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<前面板和数字型LCD> ① 模式键 ② 测试/设臵键 ③ ▲键 ④ ▼键 ⑤ 锁杆 ⑥ 传感器铭牌上的显示窗 ⑦ 电源灯(电源) ⑧ 一级警报灯(ALM1) ⑨ 二级警报灯(ALM2) ⑩ 故障灯 (FAULT) ? 气体名称显示 ? 浓度值显示 ? 单位显示 ? 浓度条指示器 ? 警报选点指示器 ? 流量指示器 ? 通讯指示器 ? 维护指示器 ? 禁用指示器 ? 热分解器连接指示器
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用于进入维护模式。同时用来取消或跳过某个规定的模式。 用于进入测试模式。用于在指定模式下的值的确认等。 用于切换屏幕或改变值(UP). 用于切换屏幕或改变值(DOWN). 控制杆,用于锁定主机。推动控制杆以便安装或拆卸主机。 传感器铭牌上的视窗。你可以辨别现在安装的传感器型号。 电源灯。当电源接通时亮绿灯。 一级警报灯。一级警报到达时亮红灯。 二级警报灯。二级警报到达时亮红灯。 故障灯。当检测器内部检测到异常时,它亮黄灯。 以化学分子式等形式显示气体名称(Silane = SIH4)。 显示气体浓度值等。 根据规格显示单位(ppm, ppb, vol%, %, %LEL)。 检测范围(满刻度=FS) 用刻度条分为20度。浓度的增加按比例显示至满刻度。 警报选点(AL1和AL2)在浓度条上显示。 显示抽取流量。条中心意味着正常抽取流量0.5 L/min。 用于GD-70D-NT型。在用上位采集单元(TX, RX)传输数据时,显示此指示器。 在维护模式下显示。显示指示器时,警报接点被断开以便禁值禁止警报。 设定禁用(点跳)时显示。 专用热分解器 (PLU-70)被连接时显示。

