第六讲 等离子体刻蚀 - 图文 (5)

空气中时，残留在胶中的氯离子会吸收大气中的水份，生成HCl，又马上腐蚀 Al等其它金属。所以腐蚀后必须立即进行处理。 9. 刻蚀面光洁度

与高宽比轮廓不同，刻蚀面的平滑程度的制约因素更多，也处于相对次要的地位，但是对于一些特殊的用途，它又是关键的。

上述各种特征技术中，刻蚀速率、均匀性、线宽控制、选择比和各向异性能力对高深宽比刻蚀是最关键的。