挽风听你级2塔＋2级4塔）供料，也是待再沸器的液面达到规定值时，通入蒸汽加热，至塔顶有回流液时和塔板达到规定的液层高度时，每塔进行全回流清洗10小时后出产品。依次5个2级塔都要进行清洗，清洗至2级塔的产品质量达标后，才能向沉淀槽供料。
2级塔正常开塔操作步骤：
（1）检查2级1塔（2.426）塔顶冷凝器2.427和2级3塔（2.439）塔顶冷凝器2.4440循环水，开循环水进口调节阀前后手动阀和冷凝器出口阀，关进口调节阀的旁通手动阀，通入塔顶循环水（由主控室控制调节阀的开启度来控制循环水的流量）。
（2）检查1级塔产品罐（2.405）是否有充足三氯氢硅原料，并能持续为2级1塔和2级3塔供料。检查1级塔产品罐到2级1塔和2级3塔的管道是否畅通，开进2级1塔和2级3塔进料调节阀和进料流量计前后的手动阀。
（3）检查2级1塔和2级3塔再沸器2.425和2.438的蒸气和夹套蒸气，开蒸气调节阀和输水器的前后手动阀和旁通阀。
（4）待一切准备工作就绪后，用调节阀调节进入2级1塔和2级3塔塔顶冷凝器2.427和2.440的循环水流量，确认塔顶冷凝器2.427和2.440充满冷却水后，开1级塔产品罐2.405底部阀和进2级1塔和2级3塔再沸器2.425和2.438三氯氢硅调节阀，进料流量控制在（0.7-0.85立方/h）；待2级1塔和2级3塔再沸器液位达到规定的液位0.75-0.85米时，通再沸器夹套保温蒸汽，开蒸气调节阀和输水器的旁通阀排液，当排液阀出来的全是蒸气时关旁通阀，用调节阀缓慢给再沸器2.425和2.438通入加热蒸气和夹套保温蒸汽；手动操作至塔顶有回流液并达到规定液层高度时，通入湿氮将塔顶投入联锁，塔顶压力控制在145-160KPa，当塔顶压力超过160KPa时自动泄压至尾气再冷器2.458，（尾气再冷液到收集罐2.575），不凝气体经过2.461送到淋洗塔去进行中和处理；停止进料开始计算全回流时间（10小时），全回流时间达到后2级1塔和2级3塔出产品至2级2塔和2级4塔的再沸器2.432和2.445，产品出料量（0.6-0.8立方/h），当2级1塔和2级3塔再沸器2.425和2.438釜温达到65-80℃时，分别出釜液至釜液罐2.428和2.441（开釜液罐的夹套循环水和回气阀），釜液流量控制在（0.04-0.05立方/h）
(5)在2级1塔和2级3塔全回流期间检查2级2塔（2.433）和2级4塔（2.446），具体操作步骤与2级1塔和2级3塔的开塔步骤一样；待一切准备工作就绪后，将2级1塔和2级3塔的产品分别出至2级2塔和2级4塔的再沸器2.432和2.445，产品出料量（0.6-0.8立方/h），当2级2塔和2级4塔的再沸器2.432和2.445的液位达到750-900mm时，通再沸器夹套保温蒸汽，开蒸气调节阀和输水器的旁通阀排液，当排液阀出来的全是蒸气时关旁通阀，用调节阀缓慢给再沸器2.432和2.445通入加热蒸气和夹套保温蒸汽；手动操作至塔顶有回流液并达到规定液层高度时，通入湿氮将塔顶投入联锁，塔顶压力控制在145-160KPa，当塔顶压力超过160KPa时自动泄压至尾气再冷器2.458，（尾气再冷液到收集罐2.575），不凝气体经过2.461送到淋洗塔去进行中和处理；停止进料（这时2级1塔和2级3塔进行全回流操作）开始计算全回流时间（10小时），全回流时间达到后用调节阀分别控制2级2塔和2级4塔的产品出料量（0.6-0.8立方/h）至沉淀罐，同时将2级1塔和2级3塔恢复正常生产；当2级2塔和2级4塔釜温达到65-80℃时，分别出釜液至釜液罐2.428和2.441（注意：2级1塔、2级2塔和2级5塔共用一个釜液罐2.428，而2级3塔和2级4塔共用一个釜液罐2.441，2级5塔
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则作为备用塔），釜液流量控制在（0.04-0.05立方/h）。检查并通入沉淀罐罐上冷凝器循环水，沉淀罐其它工艺要求和湿氮制备装置工艺在技术规程上有详细介绍。
具体控制参数见附表1-3
4)沉淀槽清洗：2级塔产品向沉淀槽逐个供料，待每个沉淀槽装入氯硅烷量达到容积的90-95%时，每个沉淀槽第一次浸泡48小时，第二次充满后再浸泡48小时，沉淀槽每次浸泡的三氯氢硅均送回1级塔前的氯硅烷储罐，再经1级塔分离提纯。直到沉淀槽上部的三氯氢硅质量达标后，才能向3级塔供料。
5)3、4、5级塔清洗：沉淀槽达标后的三氯氢硅向3级塔供料，待3级塔再沸器的液面规定值，通入蒸汽加热，至塔顶有回流液时和塔板达到规定的液层高度时，进行全回流清洗10小时后出低沸物并将釜液向4级塔供料，待4级塔再沸器的液面规定值，通入蒸汽加热，至塔顶有回流液时和塔板达到规定的液层高度时，进行全回流清洗10小时出产品，产品向5级塔供料，待5级塔再沸器的液面规定值，通入蒸汽加热，至塔顶有回流液时和塔板达到规定的液层高度时，进行全回流清洗10小时出产品，产品进入产品罐达到容积90-95%时，每个产品罐浸泡48小时后，将三氯氢硅送回1级塔前的氯硅烷储罐，直到5级塔的产品质量达标后，才能向8级塔供料； 3级塔正常开塔操作步骤：
（1）检查3级1（2.507）塔和3级2塔（2.517）塔顶冷凝器2.508和2.518循环水，开循环水进口调节阀前后手动阀和冷凝器出口阀，关进口调节阀的旁通手动阀，通入塔顶循环水（由主控室控制调节阀的开启度来控制循环水的流量）。 （2）检查3级1塔和3级2塔原料贮罐（2.1.475 2.1.477 2.1.479 2.1.481 2.1.483 2.1.485）是否有充足三氯氢硅原料，并能持续为3级1塔和3级2塔供料。检查沉淀罐到3级1塔和3级2塔的管道是否畅通，泵（2.1.887 2.1.488 2.1.489）是否处于正常的备用状态，开3级1塔和3级2塔进料流量计前后的手动阀（关旁通阀），开进料预热器2.505和2.515蒸气冷凝液的进出口阀。
（3）检查3级1塔和3级2塔再沸器2.506和2.516的蒸气，检查蒸气压力是否在规定值。开蒸气调节阀和输水器的前后手动阀和旁通阀。
（4）待一切准备工作就绪后，用调节阀调节进入3级1塔和3级2塔塔顶冷凝器2.508和2.518的循环水流量，确认塔顶冷凝器2.508和2.518充满冷却水后，启动泵2.1.487或2.1.489（2.1.488则是备用泵）给3级1塔和3级2塔进三氯氢硅原料；待3级1塔和3级2塔再沸器液位达到规定的液位2-2.5米时，开蒸气调节阀和输水器的旁通阀排液，当排液阀出来的全是蒸气时关旁通阀，用调节阀缓慢给再沸器2.506和2.516通入蒸气加热；手动操作至塔顶有回流液并达到规定液层高度时，将塔顶投入联锁，塔顶压力控制在145-160KPa，当塔顶压力超过160KPa时自动泄压至尾气再冷器2.616，不凝气体经过2.461送到淋洗塔去进行中和处理（当塔顶压力低于145KPa时自动向塔内补充氮气以维持塔内平衡）；停止进料开始计算全回流时间（10小时），全回流时间达到后出产品至产品罐2.509和2.519（关2.509和2.519底部阀和产品调节阀的旁通阀，开2.509和2.519的回气阀和夹套循环水），用手动调节流量计后端的手动阀控制产品出料量（0.6-0.76立方/h），同时给3级1塔和3级2塔进料（0.6-0.8立方/h），当顶温达到35-55℃时，排低沸物（0.034-0.041立方/h）至顶液罐2.513和2.523（开2.513和2.523的回气阀、夹套冷冻水、流量计和调节阀前后手动阀，关旁通阀）；3级1塔和3级2塔进入正常连续生产状态，当3级1塔和3级2塔产品罐2.509
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和2.519液位达到容积的一半以上时，经取样分析达标后，分别向4级1塔和4级2塔供料。
具体控制参数见附表1-3 4级塔正常开塔操作步骤：
（1）检查4级1（2.531）塔和4级2塔（2.550）塔顶冷凝器2.532和2.551循环水，开循环水进口调节阀前后手动阀和冷凝器出口阀，关进口调节阀的旁通手动阀，通入塔顶循环水（由主控室控制调节阀的开启度来控制循环水的流量）。 （2）检查3级1塔和3级2塔产品罐（2.509和2.519）是否有充足三氯氢硅原料，并能持续为4级1塔和4级2塔供料。检查2.509和2.519到4级1塔和4级2塔的管道是否畅通，泵（2.511 2.512 2.521 2.522）是否处于正常的备用状态，开4级1塔和4级2塔进料流量计前后的手动阀（关旁通阀）。
（3）检查4级1塔和4级2塔再沸器2.530和2.549的蒸气，检查蒸气压力是否在规定值。开蒸气调节阀和输水器的前后手动阀和旁通阀。
（4）待一切准备工作就绪后，用调节阀调节进入4级1塔和4级2塔塔顶冷凝器2.532和2.551的循环水流量，确认塔顶冷凝器2.532和2.551充满冷却水后，启动泵2.511 2.521或2.512 2.522给4级1塔和4级2塔进三氯氢硅原料；待4级1塔和4级2塔再沸器(2.530和2.549)液位达到规定的液位2-2.5米时，开蒸气调节阀和输水器的旁通阀排液，当排液阀出来的全是蒸气时关旁通阀，用调节阀缓慢给再沸器2.530和2.549通入蒸气加热；手动操作至塔顶有回流液并达到规定液层高度时，将塔顶投入联锁，塔顶压力控制在145-160KPa，当塔顶压力超过160KPa时自动泄压至尾气再冷器2.569，不凝气体经过2.461送到淋洗塔去进行中和处理（当塔顶压力低于145KPa时自动向塔内补充氮气以维持塔内平衡）；停止进料开始计算全回流时间（10小时），全回流时间达到后出产品至产品罐2.537和2.5556（关2.537和2.556所有底部阀和产品调节阀的旁通阀，同时开产品调节阀的前后手动阀和回气阀），用调节阀控制产品出料量（0.6-0.73立方/h），同时给4级1塔和4级2塔进料（0.7-0.8立方/h），当釜温达到60-70℃时，出釜液（0.017-0.02立方/h）至釜液罐2.533和2.552（开2.533和2.552的回气阀和夹套循环水）；4级1塔和4级2塔进入正常连续生产状态，当4级1塔和4级2塔产品罐2.537和2.556液位达到容积的一半以上时，经取样分析达标后，分别向5级1塔和5级2塔供料。
具体控制参数见附表1-3 5级塔正常开塔操作步骤：
（1）检查5级1（2.540）塔和5级2塔（2.559）塔顶冷凝器2.541和2.560循环水，开循环水进口调节阀前后手动阀和冷凝器出口阀，关进口调节阀的旁通手动阀，通入塔顶循环水（由主控室控制调节阀的开启度来控制循环水的流量）。 （2）检查4级1塔和4级2塔产品罐（2.537和2.556）是否有充足三氯氢硅原料，并能持续为5级1塔和5级2塔供料。检查2.537和2.556到5级1塔和5级2塔的管道是否畅通，泵（2.534 2.538 2.553 2.557）是否处于正常的备用状态，开5级1塔和5级2塔进料流量计前后的手动阀（关旁通阀）。
（3）检查5级1塔和5级2塔再沸器2.539和2.558的蒸气，检查蒸气压力是否在规定值。开蒸气调节阀和输水器的前后手动阀和旁通阀。
（4）待一切准备工作就绪后，用调节阀调节进入5级1塔和5级2塔塔顶冷凝器2.541和2.560的循环水流量，确认塔顶冷凝器2.541和2.560充满冷却水后，启动泵2.534 2.538或2.553 2.557给5级1塔和5级2塔进三氯氢硅原料；待5
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级1塔和5级2塔再沸器(2.539和2.558)液位达到规定的液位2-2.5米时，开蒸气调节阀和输水器的旁通阀排液，当排液阀出来的全是蒸气时关旁通阀，用调节阀缓慢给再沸器2.539和2.558通入蒸气加热；手动操作至塔顶有回流液并达到规定液层高度时，将塔顶投入联锁，塔顶压力控制在145-160KPa，当塔顶压力超过160KPa时自动泄压至尾气再冷器2.569，不凝气体经过2.461送到淋洗塔去进行中和处理（当塔顶压力低于145KPa时自动向塔内补充氮气以维持塔内平衡）；停止进料开始计算全回流时间（10小时），全回流时间达到后出产品至产品罐2.543 2.546 5.547和2.543 2.546 2.547,（关5级1塔和5级2产品罐所有底部阀和产品调节阀的旁通阀，同时开产品调节阀的前后手动阀和回气阀），用调节阀控制产品出料量（0.5-0.7立方/h），同时给5级1塔和5级2塔进料（0.6-0.73立方/h），当釜温达到60-70℃时，出釜液（0.01-0.03立方/h）至釜液罐2.542和2.561（同时开2.542和2.561的回气阀和夹套循环水）；5级1塔和5级2塔进入正常连续生产状态，当5级1塔和5级2塔产品罐液位达到容积的一半以上时，经取样分析达标后，分别向8级供料。
具体控制参数见附表1-3
6)8级塔清洗：5级塔达标后非三氯氢硅向8级塔供料，待8级塔再沸器的液面规定值，通入蒸汽加热，至塔顶有回流液时和塔板达到规定的液层高度时，进行全回流清洗10小时后出产品，产品进入产品罐达到容积90-95%时，每个产品罐浸泡48小时后，将三氯氢硅送回1级塔前的氯硅烷储罐（产品罐浸泡的次数，由8级塔的产品质量达标的时间来决定），直到8级塔的产品质量达标后，才能向还原炉供料；
8级塔正常开塔操作步骤：
（1）检查8级塔（2.679）塔顶冷凝器2.681循环水，开循环水进口调节阀前后手动阀和冷凝器出口阀，关进口调节阀的旁通手动阀，通入塔顶循环水（由主控室控制调节阀的开启度来控制循环水的流量）。
（2）检查5级塔产品罐是否有充足三氯氢硅，并能持续为8级塔供料。检查5级1塔和5级2塔的产品罐到8级塔的管道是否畅通，泵（2.573和2.574）是否处于正常的备用状态，开8级塔进料流量计前后的手动阀（关旁通阀）。 （3）检查8级塔再沸器2.680的蒸气，检查蒸气压力是否在规定值。开蒸气调节阀和输水器的前后手动阀和旁通阀。
（4）待一切准备工作就绪后，用调节阀调节进入8级塔塔顶冷凝器2.681的循环水流量，确认塔顶冷凝器2.681充满冷却水后，启动泵2.573或2.574给8级塔进料；待8级塔再沸器(2.680)液位达到规定的液位2-2.5米时，开蒸气调节阀和输水器的旁通阀排液，当排液阀出来的全是蒸气时关旁通阀，用调节阀缓慢给再沸器2.680通入蒸气加热；手动操作至塔顶有回流液并达到规定液层高度时，将塔顶投入联锁，塔顶压力控制在145-160KPa，当塔顶压力超过160KPa时自动泄压至尾气再冷器2.723，不凝气体经过2.461送到淋洗塔去进行中和处理（当塔顶压力低于145KPa时自动向塔内补充氮气以维持塔内平衡）；停止进料开始计算全回流时间（10小时），全回流时间达到后出产品至产品罐2.686 2.687 5.688，（关8塔产品罐所有底部阀和产品调节阀的旁通阀，同时开产品调节阀的前后手动阀和回气阀），用调节阀控制产品出料量（1.1立方/h），同时给8级塔进料（1.11-1.22立方/h），当釜温达到73-77℃时，出釜液（0.055-0.06立方/h）至釜液罐2.683和2.684（同时开2.683和2.684的回气阀和夹套循环水）；8级塔进入正常连续生产状态，8级塔釜液二级三氯氢硅外销或是返回系统作为原料使用当
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8级塔塔顶产品取样分析达标后，分别向还原供料。 具体控制参数见附表1-3
7)9、10级塔清洗：还原炉尾气回收的氯硅烷料（CDI-1冷凝液）加入到9级塔，待9级塔再沸器的液面规定值，通入蒸汽加热，至塔顶有回流液时和塔板达到规定的液层高度时，进行全回流清洗10小时后出产品，产品向10级塔供料，待10级塔再沸器的液面规定值，通入蒸汽加热，至塔顶有回流液时和塔板达到规定的液层高度时，进行全回流清洗10小时后出产品，产品进入产品罐达到容积90-95%时，每个产品罐浸泡48小时后，将三氯氢硅送回1级塔前的氯硅烷储罐（产品罐浸泡的次数，由10级塔的产品质量达标的时间来决定），直到8级塔的产品质量达标后，才能向还原炉供料； 9级塔正常开塔操作步骤：
（1）检查9级塔（2.700）塔顶冷凝器2.702循环水，开循环水进口调节阀前后手动阀和冷凝器出口阀，关进口调节阀的旁通手动阀，通入塔顶循环水（由主控室控制调节阀的开启度来控制循环水的流量）。
（2）检查9级塔原料罐2.695和2.696（还原炉尾气回收的氯硅烷料）回收料，是否能持续为9级塔供料。检查原料罐2.695和2.696到9级塔的管道是否畅通，泵（2.697和2.698）是否处于正常的备用状态，开9级塔进料流量计前后的手动阀（关旁通阀）。
（3）检查9级塔再沸器2.701的蒸气，检查蒸气压力是否在规定值。开蒸气调节阀和输水器的前后手动阀和旁通阀。开进料预热器2.699蒸汽冷凝液的进出口阀。
（4）待一切准备工作就绪后，用调节阀调节进入9级塔塔顶冷凝器2.702的循环水流量，确认塔顶冷凝器2.702充满冷却水后，启动泵2.697或2.698给9级塔进料；待9级塔再沸器(2.701)液位达到规定的液位2-2.5米时，开蒸气调节阀和输水器的旁通阀排液，当排液阀出来的全是蒸气时关旁通阀，用调节阀缓慢给再沸器2.701通入蒸气加热；手动操作至塔顶有回流液并达到规定液层高度时，将塔顶投入联锁，塔顶压力控制在145-160KPa，当塔顶压力超过160KPa时自动泄压至尾气再冷器2.736，不凝气体经过2.461送到淋洗塔去进行中和处理（当塔顶压力低于145KPa时自动向塔内补充氮气以维持塔内平衡）；停止进料开始计算全回流时间（10小时），全回流时间达到后出产品至产品罐2.689 和2.708，（关9塔产品罐所有底部阀和产品调节阀的旁通阀，同时开产品调节阀的前后手动阀和回气阀），用调节阀控制产品出料量（2.47立方/h），同时给9级塔进料（3.68-4.06立方/h），当釜温达到103-107℃时，出釜液（1.27-1.4立方/h）至釜液罐2.703 2.704和2.705（同时开2.703 2.704和2.705的回气阀和夹套循环水）；9级塔进入正常连续生产状态，9级塔釜液四氯化硅外销或供氢化使用，当9级塔塔顶产品三氯氢硅取样分析达标后，向10级塔供料。 具体控制参数见附表1-3 10级塔正常开塔操作步骤：
（1）检查10级塔（2.712）塔顶冷凝器2.714循环水，开循环水进口调节阀前后手动阀和冷凝器出口阀，关进口调节阀的旁通手动阀，通入塔顶循环水（由主控室控制调节阀的开启度来控制循环水的流量）。
（2）检查9级塔产品罐2.689与2.708是否能持续为10级塔供料。检查原料罐2.689与2.708到10级塔的管道是否畅通，泵（2.690和2.691）是否处于正常的备用状态，开10级塔进料流量计前后的手动阀（关旁通阀）。
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