loading粗糙度测试仪使用说明
一、操作步骤：
1. 打开仪器电源适配器开关，按下仪器启动按钮和计算机主机电源按钮；
2. 等待计算机启动好后，打开Vision64软件，此时出现初始化界面，同时能听到仪器内部初始化运转
声音。待初始化完成后，软件进入操作界面； 3. 在样品托盘上放置样品；
4. 点击Open打开相应的测试模块Recipe；
5. 在软件界面Z轴控制面板中进行对焦，直到视野中出现干涉条纹；
6. 根据样品情况选择恰当的放大倍率，之后使用仪器左侧与前部的样品台倾斜调节旋钮调节视野中条
纹数目，最终通过Z轴控制面板调节保持0级条纹（最亮条纹）处于视野中央；
7. 调节光强Intensity，光强应尽可能大，但必须保证不使图像最亮区域发红即可，一般此处选用自动光
强Auto；
8. 根据所测量样品的粗糙程度（纵深）设置适当的扫描速度、回溯扫描高度（Backscan）、扫描深度
（Length）；
9. 点击界面左上角Measurement按钮开始测试；
10. 待测试完成后保存原始数据（Save > Save DataSet）或进行截图保存； 二、注意事项：
1. 对焦时应遵循由下至上的对焦原则，即事先将镜头置于离样品较近的高度，然后向上移动镜头调焦，
防止物镜在调焦过程中撞击样品而损坏；
2. 为保证测量的准确性，对焦以及调节倾斜前请确认目前测量模块所采用的测量模式（VSI或PSI），
可辨识条件下Tilt后应保证对应模式视野中条纹的数目：VSI模式0-15条，PSI模式<5条。 制订：张智畅 2013.03.02 审核：