校准、检定和计量确认的关系图

长度基准 U=1.3x10-10---4x10--9

直 接 测 量

量块长度测量装置 U=0.02+0.1L

接触干涉仪比较测量 U=0.03+1.5ni

1μm光学计比较测量Δ=0.2 ~0.25

5等量块 0.5—1000 U=(0.5+5L) 4等量块 0.5—1000 U=(0.20+2L) 3等量块 0.5—1000 U=(0.1+1L) 2等量块 0.5—1000 U=(0.05+0.5L) 1等量块 0.5—1000 U=(0.02+0.2L) 0.2μm光学计比较测量Δ=0.05μm 0.2μm光学计比较测量Δ=0.05μm 6等量块 0.5—1000 U=(2.0+12L) 0. 02游标卡尺 O—1000 示值误差Δ = 50---125 μm

量 值 溯 源