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说明书摘要
本实用新型涉及一种石墨舟，包括石墨舟片（1）、陶瓷杆（2）、石墨舟工艺钉（3），陶瓷圈（4），石墨舟片（1）的数量为两片或两片以上，所述石墨舟片（1）之间的间距为15mm，本实用新型结构简单；且合理的石墨舟片的间距，使得硅片的镀膜均匀，提高硅片的品质、提高太阳能转化效率高。
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摘要附图
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权利要求书
1、一种石墨舟，包括固定在石墨舟底座上的石墨舟片（1），位于石墨舟上部的陶瓷杆（2），固定在石墨舟片上的工艺钉（3），其特征在于：石墨舟片（1）的数量为两片或两片以上，所述石墨舟片（1）之间的间距为15mm。
2、根据权利要求1所述石墨舟，其特征在于：所述石墨舟片（1）串联在陶瓷杆（2）上。
3、根据权利要求1所述石墨舟，其特征在于：所述石墨舟片（1），每片石墨舟片（1）之间均夹有一个陶瓷圈（4）来控制舟片之间的距离。
4、根据权利要求3所述石墨舟，其特征在于：所述陶瓷圈（4）串联在陶瓷杆（2）上。
10003 2006.7
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说明书
石墨舟
技术领域
本实用新型涉及一种石墨模具。石墨舟就是石墨模具。石墨模具本身是一种载体，可以把
我们需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高温烧结成型。石墨模具是选用人造石墨经机械加工而成的。所以石墨模具有时称为石墨舟，也称为石墨船。
背景技术
太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，经过一定的条件产生化学反应，在硅片表面镀上一层膜。
石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率，现有石墨舟包括：石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为：将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后，将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。
现有的石墨舟舟片之间间距小，镀成的硅片膜的颜色深浅不一，致使硅片的太阳能转化效率不一，质量受到影响。 实用新型内容
本实用新型的目的是解决上述不足，提供一种能够使硅片的镀膜均匀、太阳能转化效率高的石墨舟片。
实现本实用新型目的技术方案是：一种石墨舟，包括石墨舟片、陶瓷杆、石墨舟工艺钉，石墨舟片的数量为两片或两片以上，所述石墨舟片之间的间距为15mm。
上述石墨舟，所述石墨舟片串联在陶瓷杆上。
上述石墨舟，所述石墨舟片，每片石墨舟片之间均夹有一个陶瓷圈来控制舟片之间的距离。
上述石墨舟，所述陶瓷圈串联在陶瓷杆上。
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